Von A wie Atomlagen bis Z wie zehntausende MicroLEDs - SURFACE PROCESSING Workshop bei COHERENT in Göttingen

Am 6. Juni fand bei Coherent Göttingen das jährliche PhotonicNet Symposium: „Oberflächenbearbeitung“ mit dem Thema Laserlösungen in der Prozessierung und Erzeugung von Dünnschichten statt. Seit 15 Jahren treffen sich Anwender aus Forschung und Industrie im Rahmen dieser Veranstaltung, um über aktuelle Oberflächen-Technologien zu berichten.

Das im Displaysegment vieldiskutierte industrielle Zukunftsfeld der Micro-LEDs und die neuen Chancen und Herausforderungen, die sich daraus für UV-Lasersysteme ergeben, nahm COHERENT aus Göttingen unter die Lupe. Ebenfalls aus dem Bereich der LEDs kam der Beitrag von Dr. Michael Kunzer vom Fraunhofer IAF in Freiburg im Verbund mit OSRAM in Regensburg, der Möglichkeiten der Reparatur und der Effizienzsteigerung von GaN-LEDs durch diverse Laserprozesse beleuchtete.

Über Excimerlaserkonzepte zur Halbleiter-Waferbearbeitung, vor dem Hintergrund stetig steigender Funktionsdichte von Elektronikbauteilen, berichtete Dr. Thomas Rapps von SÜSS MicroTec aus Sternenfels. Für die 2,5D und 3D-Integration von Chipsystemen lassen sich Dünnwafer mittels kurzwelliger Excimerlaser mit hoher Produktivität vom Träger ablösen.

Die Laser-Oberflächen-Funktionalisierung von Kohlefaserverbundwerkstoffen und anderer neuartiger Materialien deckten die Beiträge von Dr. Thomas Lukasczyk vom Fraunhofer IFAM in Bremen sowie von Jahr Turchan von MTIX aus Huddersfield, UK ab.

Als geeignete Methode zur Schichterzeugung komplexer Materialen hat sich die gepulste Laserdeposition (PLD) mit dem Excimerlaser in vielen Bereichen durchgesetzt. PLD-Systemansätze zur wissenschaftlichen Erzeugung von Funktionschichten höchster Güte auf Labormustern wurden von Dr. Cas Damen von TSST in Enschede, NL vorgestellt.

Ergänzend dazu gab Dr. James Greer von PVD Products in Wilmington, MA, USA einen Überblick bezüglich der Einführung der PLD-Technologie in Produktionprozesse und hierzu nötige Laser- und Maschinenkonzepte zur Aufskalierung bei gleichzeitig hohem Materialübertrag.

In diesem Jahr erfolgte im Anschluss an die Veranstaltung eine Besichtigungstour durch die Reinräume des deutlich erweiterten Produktionsgebäudes für große Strahlführungssysteme. Dieses Angebot wurde begeistert angenommen und die Teilnehmer zeigten sich sichtlich beeindruckt durch die von COHERENT getätigten Erweiterungen.

„Unser Symposium hat sich als internationale Plattform für den Ideenaustausch zwischen unterschiedlichen Laseranwendern im Bereich der selektiven Oberflächenbearbeitung etabliert und die Teilnehmerzahl steigt von Jahr zu Jahr“, zogen Dr. Ralph Delmdahl von COHERENT und Dr. Thomas Fahlbusch vom PhotonicNet zufrieden Bilanz.

Zusammenfassend ist festzustellen, dass das Symposium auch in diesem Jahr wieder durch exzellente Referenten, interessante Vorträge und lebhafte Diskussionen punkten konnte. Umso größer ist die Vorfreude auf das nächste Jahr.

Kontakt
Coherent LaserSystems GmbH & Co. KG
Hans-Böckler-Str. 12
37079 Göttingen

Dr. Ralph Delmdahl
E-Mail: ralph.delmdahl@coherent.com