LLG startet Projekt SpannForm

Quelle: Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

Kontinuierliche Freiformoberflächen durch laserinduzierte Modifikation schichtspannungsinduzierter Verformung.

Ziel des Vorhabens ist die Weiterentwicklung eines Laserverfahrens zur Formgebung von optischen Substraten durch Strukturierung von spannungsbehafteten Beschichtungen.

Ein derzeitiger und sich in Zukunft noch verstärkender Trend bei optischen Komponenten geht in Richtung Freiformoberflächen. Gerade wenn Präzision mit Kompaktheit oder Leichtbau zu kombinieren ist, haben Freiformoptiken unschlagbare Vorteile. Für Weltraumanwendungen sind z.B. oft große, zwar wenig, aber doch definiert von einer planen Oberfläche abweichende Spiegelsubstrate mit geringem Gewicht erforderlich. Derartige komplex geformte (nicht-plane) Oberflächen für anspruchsvolle optische Anwendungen können im Prinzip durch eine geeignete Verformung einer Planplatte realisiert werden. Ein gewissermaßen umgekehrtes Problem stellt sich bei der Herstellung hochwertiger beschichteter Optiken. Durch das Auftreten von Schichtspannungen verformt sich bei der Beschichtung auch ein mit höchster Genauigkeit hergestelltes Substrat und verliert damit die Soll-Geometrie. Oft wird versucht, diese Verformung durch eine weitere Beschichtung, beispielsweise auf der Rückseite des Substrats zu kompensieren. Dies gelingt bis zu einem gewissen Grad; bei steigenden Anforderungen hinsichtlich der Minimierung von Passfehlern wird dies jedoch in Zukunft immer kritischer werden, beispielsweise in der EUV-Lithographie. Daher sind neue Konzepte zur aktiven Verformung von Substraten erforderlich, die in diesem Projekt auf der Basis von Schichtstrukturierungen entwickelt werden sollen.  

Ein großer Vorteil des hier verfolgten Verfahrens ist es, dass es im Idealfall materialunabhängig einsetzbar ist, was bei den Konkurrenzverfahren meist nicht gegeben ist. So ist eine breitere Anwendbarkeit auch in hier noch nicht adressierten Feldern möglich, möglicherweise auch außerhalb von optischen Anwendungen.

Das Projekt wird im Rahmen des Förderprogramms WIPANO – „Wissens- und Technologietransfer durch Patente und Normen“, in der Kategorie „Förderschwerpunkt Öffentliche Forschung - Weiterentwicklung von Erfindungen“ durch das BMWi gefördert. Die Projektlaufzeit beträgt zwei Jahre.

Kontakt:

Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)

Hans-Adolf-Krebs-Weg 1
37077 Göttingen

Tel.: +49 551 5035-0
Fax: +49 551 5035-99
E-Mail: info(at)llg-ev.de

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