Durch Wände messen mit IRIS von Polytec

Quelle: Polytec GmbH

Mithilfe des neuen MSA-650 IRIS Micro System Analyzer von Polytec aus Waldbronn können die MEMS-Entwickler direkt durch die Siliziumkappe des Bauelementes hindurch die Bewegung der MEMS-Komponenten hochaufgelöst und in Echtzeit erfassen. Dabei sind Frequenzen von bis zu 25 MHz möglich.

Die Basis hierfür ist eine innovative, patentierte Messtechnik bestehend aus einem speziellen Infrarot-Interferometer. Die integrierte IR-Kamera schaut ebenfalls durch die Kappe hindurch, liefert hochaufgelöste Bilder der MEMS-Mechanik und ermöglicht mittels stroboskopischer Videomikroskopie eine Messung der planaren Bewegungskomponente („In-Plane“).

Zu den Hauptvorteilen des neuen MSA zählen die schnelle Messung unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen ohne aufwendige Präparation sowie die exzellente Datenqualität aufgrund der kurzkohärent-interferometrischen Unterdrückung von Störeinflüssen.

Weitere Informationen sowie die vollständige Pressemeldung erhalten Sie hier.