30.03.2021
Die Basis hierfür ist eine innovative, patentierte Messtechnik bestehend aus einem speziellen Infrarot-Interferometer. Die integrierte IR-Kamera schaut ebenfalls durch die Kappe hindurch, liefert hochaufgelöste Bilder der MEMS-Mechanik und ermöglicht mittels stroboskopischer Videomikroskopie eine Messung der planaren Bewegungskomponente („In-Plane“).
Zu den Hauptvorteilen des neuen MSA zählen die schnelle Messung unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen ohne aufwendige Präparation sowie die exzellente Datenqualität aufgrund der kurzkohärent-interferometrischen Unterdrückung von Störeinflüssen.
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