Optocraft: Automatisierte Prüfung von Mikrooptiken mit hoher Genauigkeit: Optecnet

Die Einsatzgebiete von Mikrooptiken sind vielfältig und umfassen Industriezweige wie beispielsweise die Halbleiterindustrie, die Medizintechnik / medizinische Diagnostik oder auch die Lasertechnik. Von Mikrooptik ist immer dann die Rede, wenn die Abmessung des optischen Elements größenordnungsmäßig unter einem Millimeter bis in den Bereich der Wellenlänge des genutzten Lichts liegt, und damit Beugungseffekte eine nicht zu vernachlässigende Rolle spielen.

Die Prüfung von Mikrooptiken mit hoher Genauigkeit erfordert eine dezidierte Auslegung des Prüfsystems unter Berücksichtigung von Propagations- und wellenoptischen Effekten. Mit dem SHSInspect autoLab bietet Optocraft eine Lösung für die automatisierte, hochgenaue Prüfung von Mikrooptiken auf Wafer- oder Tray-Basis an. Dabei werden sowohl die Form bzw. Abweichungen von der Sollgeometrie der einzelnen Mikrooptiken gemessen, als auch deren optische Funktion (Aberrationen, MTF, etc.). Zusätzlich liefert das System Information über Oberflächendefekte wie Kratzer oder Riefen. Der extreme Dynamikbereich von Optocraft’s Shack-Hartmann Wellenfrontsensoren ermöglicht zudem die Prüfung von Mikrooptiken mit stark asphärischem Design. Pro Element beträgt die Messdauer je nach Prüfumfang 2-15 Sekunden, so dass z.B. ein Wafer mit 10.000 Einzel-Optiken innerhalb von etwa 8 Stunden vermessen werden kann.

Neben der Stand-Alone Lösung SHSInspect autoLab können auch flexible Module realisiert werden. Diese werden dann z.B. in eine Roboterumgebung mit mikro-mechanischer Führung integriert, oder in Produktionslinien mit automatisierter Ausrichtung und Bestückung.

Weitere Informationen: https://www.optocraft.de/de/produkte-shsinspect/

Kontakt:
OPTOCRAFT GmbH
Dr. Christian Brock
Technical Sales
Am Weichselgarten 7
D-91058 Erlangen
Tel.: +49 (0)9131 6915-00
info(at)optocraft.com
www.optocraft.com

Zurück